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SJ 21258-2018 干法刻蚀设备工艺验证方法.pdf

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更新时间: 2025-06-12 加入收藏
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本标准规定了干法刻蚀设备工艺验证的一般要求、验证条件、验证方法等内容。本标准适用于干法刻蚀设备(以下简称刻蚀设备)的工艺性能的验证。

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